当发现氦检漏设备的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。

这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行清洗。具体的清洗方法如下：

先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电及部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电及部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。

氦检漏设备适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能强，可重复使用多年，仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠，保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件，如果没达到相应的条件，很可能造成严重后果。

氦检漏设备电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方，特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座，应符合要求，地线良好，通风间距约30cm。

放置氦检漏设备，以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔，可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前，确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。